白光干涉測厚儀主要有主機和探頭兩部分組成。主機電路包括發射電路、接收電路、計數顯示電路三部分，由發射電路產生的高壓沖擊波激勵探頭，產生超聲發射脈沖波，脈沖波經介質介面反射后被接收電路接收，通過單片機計數處理后，經液晶顯示器顯示厚度數值，它主要根據聲波在試樣中的傳播速度乘以通過試樣的時間的一半而得到試樣的厚度。
白光干涉測厚儀的功能：
●采用了磁性測厚方法，可測量磁性金屬基體上非磁性覆蓋層的厚度；
●可采用單點校準和兩點校準兩種方法對儀器進行校準；
●可采用基本校準修正法對測頭系統誤差進行更新修正，保證儀器在測量過程中的準確性；
●負數顯示功能，保證儀器零位點校準的準確性，提高測試精度；
●操作過程有蜂鳴聲提示；
●兩種關機方式：手動關機方式和自動關機方式；
●電池電壓指示：低電壓提示；
●微功耗設計，在待機裝態不到10微安的電流。
影響白光干涉測厚儀的測量精度原因：
(1)覆蓋層厚度大于25μm時，其誤差與覆蓋層厚度近似成正比；
(2)基體金屬的電導率對測量有影響，它與基體金屬材料成分及熱處理方法有關；
(3)任何一種測厚儀都要求基體金屬有一個臨界厚度,，只有大于這個厚度，測量才不會受基體金屬厚度的影響；
(4)對試樣測定存在邊緣效應,，即對靠近試樣樣邊緣或內轉角處的測量是不可靠的；
(5)試樣的曲率對測量有影響，這種影響將隨曲率半徑的減小明顯地增大；
基體金屬和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的精度，粗糙度增大，影響增大。
